半导体工艺可靠性-信息通讯-图书中心-世纪中文出版社

半导体工艺可靠性

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半导体制造作为微电子与集成电路行业中非常重要的环节，其工艺可靠性是决定芯片性能的关键。本书详细描述和分析了半导体器件制造中的可靠性和认定，并讨论了基本的物理和理论。