
题名
离子注入高分子材料的导电特性研究动态及应用
DOI
10.12721/ccn.2022.158128
作者
丁伯继
作者单位
杭州士兰集昕微电子有限公司,浙江杭州,310018
摘要
离子注入聚合物因有望用于微电子、表面防护和光学等领域,备受各界的关注。目前,有不少离子注入聚合物的相关实验,从离子、聚合物二者的相互作用导致聚合物在结构、电学、力学和光学方面的变化进行研究。本文将对离子注入高分子材料后的导电特性的研究进展和结果作一总结。
关键词
聚合物;导电特性;关系
刊名
新材料
ISSN
3078-929X
年、卷(期)
20226
所属期刊栏目
化学与材料
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