题名
基于微机电系统波纹振膜的高灵敏度光纤传声器
DOI
10.12721/ccn.2024.160578
作者
侯佩佩 曹祖杨
作者单位
杭州兆华电子股份有限公司，浙江杭州，311121
摘要
扬声器是感知声信号的传感器,其中膜是直接接收声信号并将其转换为电信号或其他信号的核心设备。膜的声压灵敏度直接影响传声器的灵敏度。因此,为了开发高灵敏度的传声器,首先需要开发声压敏感性。关于膜测试声压敏感性的研究方法较少。目前,实验室使用激光振动测量设备来测试膜在特定频率下的中心位移。该工艺中使用的设备价格昂贵,对振动薄膜的尺寸要求不低于1mm的等效直径,这限制了可以测试的振动薄膜的类型。本文提出了一种基于Fabry-Perot(F-P)干涉光纤测量仪的膜灵敏度测试方法,该方法在测量传声器灵敏度时可以获得膜的声压灵敏度,方法简单,降低了对膜片尺寸的要求,膜片尺寸大于几十微米。
关键词
光纤光学；传声器；波纹振膜；远场语音拾取
刊名
光电子进展
ISSN
3078-9761
年、卷(期)
20248
所属期刊栏目
数学与物理
打印
