题名
微加速度传感器的新进展
DOI
作者
​袁哲俊 胡忠辉 谢大纲
作者单位
1.哈尔滨工业大学机电学院，黑龙江哈尔滨，1500012；2.哈尔滨工业大学机电学院，黑龙江哈尔滨，150001；3.哈尔滨工业大学机电学院，黑龙江哈尔滨，150001
摘要
本文介绍了微加速度传感器的最新发展,单向微硅加速度传感器,三维集成微加速度传感器系统,微型集成惯性测量平台系统等.还介绍了最新的微加速度传感器和集成微加速度传感器的制造工艺技术。
关键词
微加速度传感器；MEMS；三维立体光刻
刊名
纳米技术研究
ISSN
3078-9435
年、卷(期)
20186
所属期刊栏目
工程技术
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