题名
中国半导体材料业的状况分析
DOI
作者
王龙兴
作者单位
上海市集成电路行业协会
摘要
在中国国内,半导体设备业和半导体材料业通称为半导体支撑业。近年来,在国内集成电路产业持续快速发展的带动下,国内半导体材料业也呈现出高增长的势头。在国家科技重大专项02专项和各级地方政府科技创新专项的大力支持下,多种基础材料开始替代进口材料,在国内集成电路大生产线上使用。
关键词
集成电路制造；半导体材料；半导体支撑业
刊名
电路系统研究
ISSN
3078-9702
年、卷(期)
20183
所属期刊栏目
工程技术
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