题名
新材料为芯片制造延续摩尔定律
DOI
作者
Jeff Dorsch
作者单位
半导体工程
摘要
硅材料的发展势头依然强劲,但要将硅扩展到一些新市场和新工艺节点变得越来越困难。对于一些节点来说,CMOS已经走到尽头了,这在每个新节点上都变得更加明显。未来的发展将取决于新的材料。这为许多包括石墨烯、2D材料和碳纳米管在内的新选择打开了大门。其中一些材料本身就可以得到直接应用,而另一些将与硅材料结合,以延长摩尔定律,提高性能、功率和面积,最终远远超过目前的水平。
关键词
集成电路制造；半导体材料；石墨烯；碳纳米管
刊名
电路系统研究
ISSN
3078-9702
年、卷(期)
20186
所属期刊栏目
工程技术
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