题名
基于光雕技术的还原氧化石墨烯压力传感器制备
DOI
作者
宋鹏鸿 张校亮 谭慷 李晓春
作者单位
新型传感器与智能控制教育部与山西省重点实验室太原理工大学物理与光电工程学院
摘要
石墨烯目前已被广泛用于压力传感器的制备,但由于传统石墨烯制备方法的制约,大部分已报道的压力传感器都只在较低范围内具有高灵敏度,无法用于宽范围的压力检测。文中将氧化石墨烯涂覆在贴有柔性薄膜的光雕光盘表面,通过光雕技术将氧化石墨烯进行了图案化还原,并将其用于制备测量宽压力范围的压力传感器。结果表明,此压力传感器对0～500 k Pa的压力范围有很好的线性响应,并且具有良好的稳定性。
关键词
光雕技术；还原氧化石墨烯；宽压力范围；压力传感器
刊名
传感器研究
ISSN
3079-0042
年、卷(期)
201811
所属期刊栏目
数学与物理
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