题名
高可靠性压差传感器的设计与测试
DOI
作者
陈玉玲 史岩峰 张艳华 张巧寿
作者单位
北京强度环境研究所
摘要
压差传感器用于伺服系统作动器两腔压力差的测量,文中针对高可靠性、高精度、耐高温、小型化压差传感器的应用需求,提出了高可靠性压差传感器的设计方案并进行测试,主要包括芯体设计、结构设计和电路设计。该产品采用SOI硅晶圆材料制作压力敏感芯片,可在150℃下正常工作。传感器通过性能测试以及环境试验,试验结果表明该传感器能够满足实际使用要求,在150℃下温度漂移和灵敏度漂移均小于±0.1%FS/℃。
关键词
高可靠性；压差传感器；SOI；环境试验
刊名
传感器研究
ISSN
3079-0042
年、卷(期)
201812
所属期刊栏目
数学与物理
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