题名
压阻式小量程SOI压力敏感结构仿真分析
DOI
作者
揣荣岩 吕品 杨宇新 张冰
作者单位
沈阳工业大学信息科学与工程学院
摘要
针对小量程MEMS压力传感器存在提高灵敏度与降低非线性相互制约的问题,利用板壳理论对小量程压力敏感结构进行了仿真分析,给出了兼顾这两个相互制约技术指标的设计方法。基于SOI技术设计了小量程压力敏感结构,通过感压膜片断裂前与衬底适当接触可使其过载能力得到有效提高。仿真结果表明,所设计的量程为5 kPa的压力敏感芯片,其过载压力达到1 MPa,1 mA恒流源供电条件下,满量程输出为43.2 mV。
关键词
压力敏感结构；小量程；灵敏度；非线性；过载；SOI技术
刊名
传感器研究
ISSN
3079-0042
年、卷(期)
20194
所属期刊栏目
数学与物理
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