题名
光刻机工件台解耦矩阵校准测试方法研究
DOI
作者
汪杰君1 王剑峰1 张志钢2
作者单位
1.桂林电子科技大学；2.上海微电子装备(集团)股份有限公司
摘要
为了有效地降低GB(Gain Balance)解耦矩阵对光刻机工件台运动精度的影响，提出了一种基于传递函数法的工件台微动台GB解耦矩阵校准测试方案。首先对工件台的机械结构进行分析，然后利用微动台的运动力学合成分解关系，进行六自由度解耦求解，最后对校准后的工件台的定位精度和运动精度进行测试。测试结果表明，微动台各轴之间的串扰都有所降低，工件台的运动性能得到了提升。
关键词
光刻机工件台；串扰；GB解耦矩阵；传递函数法
刊名
中国仪器
ISSN
3079-0034
年、卷(期)
20198
所属期刊栏目
工程技术
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