会议背景

广东省真空学会、广东省真空产业技术创新联盟主办，广州今泰科技股份有限公司承办的第六届粤港澳真空科技创新发展论坛暨广东省真空学会学术年会定于 2022 年 9 月 22-24 日在广州科学城举办。同期举办“先进微纳制造技术与前沿应用高峰论坛”， 设真空装备与工艺、光电薄膜材料与器件、硬质涂层与表面工程、微纳制造（集成电路） 专场。特邀十多位国内外著名专家和行业龙头企业做大会报告，交流真空技术在电子信息、半导体器件、新能源开发、工模具涂层、微纳制造领域的最新应用进展。会议得到广东省“岭南科学论坛”项目、广州市“国际学术会议之都”项目的立项资助以及多个科技集团的大力支持，热忱欢迎各位理事、会员、团体会员单位的代表以及省内外从事 真空领域教学、科研、开发、生产的专家、学者、工程技术人员参加本次大会。

组织机构

主办单位
广东省真空学会、广东省真空产业技术创新联盟 

广东省真空学会（Guangdong Vacuum Society）是由来自真空科学与技术领域，分布于各大、专院校、研究所和公司企业的科学家、工程师和技术人员组成。学会为科学研究者之间的学术交流和企业界之间的技术转让提供了重要的论坛。

承办单位
广州今泰科技股份有限公司

协办单位
广州国际技术交易服务中心有限公司 、广东科技新闻工作者协会、 广东振华科技股份有限公司 、肇庆市科润真空设备有限公司 、爱发科商贸（上海）有限公司

支持单位
中国真空学会 、广东省工商业联合会、 广东省社会科学院 、香港表面处理学会 、粤港澳大湾区半导体装备及零配件产业技术创新联盟、 中山大学 、华南理工大学 、暨南大学、广东工业大学、北京大学深圳研究生院、 岭南师范学院、 长春理工大学中山研究院、 季华实验室、 韩江实验室、 广东省科学院新材料研究所、 广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院、 中国真空网、 真空设备与技术网

联系方式

大会联系人：王老师

: wangsiling@ais.cn（投稿/咨询）

: +86-13922150774（wechat）

: 398013317

大会组委

组织委员会主席

刘彭义

组织委员会副主席

组织委员会委员