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微米尺度压痕仪研发与可靠性研究下载：200 浏览：2182

富阳1 魏胜君1 郭美华1 余珂2 张静楷2 《中国电气工程》 2022年11期

摘要:

作为表征材料力学性能的重要手段，仪器化压痕测试技术能够对各种力学性能参数进行有效测量，包括：小尺寸材料的蠕变、弹性模量、硬度等，仪器化压痕测试技术比传统的检测方法更具有优势，不仅能够减少试验进行的成本，还能够无损检测，有助于发展其他领域，包括：医学材料、表面工程、集成微光机电系统、生物工程以及微电子等。基于此，笔者针对于微米尺度压痕仪研发与可靠性进行了深入分析与探讨，以此为相关学者以及从业人员提供有价值的参考依据。

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