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改善多晶硅染色解析度的研究 下载：70 浏览：429

方园 《电路系统研究》 2018年12期

摘要:
对掺杂的晶体硅进行染色,进而分析掺杂区域的深度、宽度以及形貌,在当今的集成电路制造中扮演着重要作用。多晶硅因其淀积工艺简单、与IC制造工艺高度兼容等优点,在集成电路的制造工艺中得到了广泛的应用,但因其特殊的微观结构,而呈现出与单晶硅不同的电学行为与化学特性。常规的单晶硅染色方法用于处理多晶硅染色时,效果往往不太理想。本文通过改良染色化学试剂的配方,显著提高了多晶硅染色的解析度。

一种人工智能AI搜索算法在集成电路生产制造动态调度的应用研究 下载：72 浏览：429

朱虹 《电路系统研究》 2018年12期

摘要:
集成电路制造的生产调度是典型的可重入生产调度系统。由于近年来集成电路制造工艺越来越复杂,制造成本及生产周期也在上升,如何合理的安排投产就变得日益重要。目前常用的调度方法是传统的基于规则的调度方法,如:先来先服务。这种方法缺乏系统性,往往造成较高的生产周期,造成客户不满。以生产周期最优为目的,尝试结合滚动窗口策略和某AI搜索算法(遗传算法),以期找到一种可行、有效、又具全局观的动态调度方法。

防止IGBT测试短路烧针的改进方法研究 下载：70 浏览：427

方园 《电路系统研究》 2018年11期

摘要:
绝缘栅双极型晶体管(IGBT)是一种混合型电力电子器件,具有工作频率高、驱动电路简单、电流大、电压高、耐用等优点,广泛应用于工业控制、智能电网、轨道交通以及家电等领域。为提高封装阶段的成品率,晶圆代工厂大都会进行硅片级的静态参数测试,而在测试过程中,测试针卡(probe)有时会因硅片生产过程中引入的缺陷导致的短路而烧毁。通过对测试程序的优化,从根本上消除了测试过程中烧毁针卡的可能性。

先进半导体在新能源领域的应用分析 下载：84 浏览：886

陈玲1 朱家树2 周勇3 《中国能源进展》 2024年8期

摘要:
科技的发展改变了人们日常生活与工作的方式，同时，随着对环境保护的愈发重视，新能源理念应用而生。本文以先进半导体技术为例，浅要分析其在新能源领域中的应用，以期为相关工作者提供一些启示和参考。
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