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高灵敏度MEMS压力传感器的设计与模型仿真 下载:71 浏览:452

李阳 曹民 胡秀娟 《数据与科学》 2018年2期

摘要:
针对人工智能领域,研究人员对高灵敏度的的微型压力传感器的迫切需求,设计基于惠斯通电桥的MEMS压力传感器。相比于其他传感器,微机电压力传感器尺寸更小,灵敏度更高。传感器表面的压敏薄膜中制有惠斯通电桥电路,电桥的输出电压与应力大小呈线性关系,输出电压的大小则表示压敏薄膜的灵敏度高低。通过ANSYS软件建模仿真来研究压敏薄膜的尺寸,材料与结构,找出薄膜参数与传感器灵敏度的数据关系,借助数据分析得出最优的设计选择。

高灵敏度纳米PZT水声换能器机电参数研究 下载:59 浏览:502

蔡晓红1 王德石2 许跃彩1 《纳米技术研究》 2022年6期

摘要:
为获得性能优良的水声换能器材料,满足水声换能器的工作需要,深入系统地研究了化学沉淀法制备锆钛酸铅(PZT)超微细粉,合成了一次颗粒小于10 nm、平均粒径40~50 nm的PZT超微细粉.检测结果表明,化学共沉淀法是制备高性能PZT超微细粉体的方法,粉体颗粒细小、活性好、尺寸分布范围窄,适合制备高性能的PZT压电陶瓷.

高灵敏度纳米PZT水声换能器机电参数研究 下载:96 浏览:502

蔡晓红1 王德石2 许跃彩1 《纳米技术研究》 2023年1期

摘要:
为获得性能优良的水声换能器材料,满足水声换能器的工作需要,深入系统地研究了化学沉淀法制备锆钛酸铅(PZT)超微细粉,合成了一次颗粒小于10 nm、平均粒径40~50 nm的PZT超微细粉.检测结果表明,化学共沉淀法是制备高性能PZT超微细粉体的方法,粉体颗粒细小、活性好、尺寸分布范围窄,适合制备高性能的PZT压电陶瓷。

基于微机电系统波纹振膜的高灵敏度光纤传声器 下载:146 浏览:2359

侯佩佩 曹祖杨 《光电子进展》 2024年8期

摘要:
扬声器是感知声信号的传感器,其中膜是直接接收声信号并将其转换为电信号或其他信号的核心设备。膜的声压灵敏度直接影响传声器的灵敏度。因此,为了开发高灵敏度的传声器,首先需要开发声压敏感性。关于膜测试声压敏感性的研究方法较少。目前,实验室使用激光振动测量设备来测试膜在特定频率下的中心位移。该工艺中使用的设备价格昂贵,对振动薄膜的尺寸要求不低于1mm的等效直径,这限制了可以测试的振动薄膜的类型。本文提出了一种基于Fabry-Perot(F-P)干涉光纤测量仪的膜灵敏度测试方法,该方法在测量传声器灵敏度时可以获得膜的声压灵敏度,方法简单,降低了对膜片尺寸的要求,膜片尺寸大于几十微米。
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