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LV/HV Twin-Well BCD[B]技术(2)芯片与制程剖面结构 下载：56 浏览：323

潘桂忠1,2 《电路系统研究》 2019年12期

摘要:
LV/HV Twin-Well BCD[B]技术(2)能够实现MOS器件低压5 V与高压100～700 V (或更高)和双极型器件低压5 V与高压30～100 V兼容的BCD工艺。为了便于高低压器件兼容集成,采用源区为硼磷双扩散形成沟道的具有漂移区的偏置栅结构的HV LDMOS器件,亦同时形成HV双极型器件。改变漂移区的长度,宽度,结深度以及掺杂浓度等可以得到不同的高电压。采用芯片结构设计、工艺与制造技术,依该技术得到了芯片制程结构。

深亚微米BiCMOS[B]芯片与制程剖面结构 下载：95 浏览：492

潘桂忠1,2 《电路系统研究》 2018年3期

摘要:
深亚微米BiCMOS[B]技术能够实现双极型与CMOS元器件兼容的工艺。为了便于集成,以双极型制程为基础,引入Twin-Well CMOS元器件工艺,在同一硅衬底上实现兼容的BiCMOS[B]工艺。采用深亚微米BiCMOS[B]集成电路芯片结构设计的工艺与制造技术,依该技术得到了芯片制程结构。
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