现代科学技术的进步下，人们的生活水平得到大幅提升，城市建筑的增多和人们物质生活追求不但提高推动下，对各项设施建设和现代化设备配置提出了新的要求。MEMS振荡器是一种运用微机电系统制作的可编程硅振荡器。其是属于现代科技运用下取代传统石英晶振产品的升级更新产品，其所具有的防震效果远超传统石英晶振，具有不受振动影响和不易碎的应用优势，能够满足高精度时钟元件运行环境的要求。本篇文章主要针对MEMS振荡器的温度补偿和低噪声频率合成频率做出简要的分析。