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高精度位移测量系统硬件在环仿真优化设计 下载：41 浏览：406

杨松1，2 张文涛1 熊显名1 王献英1 《中国仪器》 2020年7期

摘要:
设计了一种基于多核DSP的高精度位移测量系统硬件在环仿真平台。本平台拥有以下优点:数值计算板卡内嵌多核DSP计算核心；多个计算核心并行处理测量模型；一块板卡同时输出多组位置信息。本平台采用了多核DSP特有的共享内存机制，从而缩短了模型内部数据通讯时间，最终缩短了单次多组测量模型的运算时间。实验结果表明，本仿真平台模型计算精度达到0.431nm，整体单次运行时间为14.242us。经优化设计后的硬件在环仿真平台模型计算精度提高了0.359nm，系统运行时间缩短了17.110us，所以该平台具有更广阔的工程应用前景。

光刻机工件台解耦矩阵校准测试方法研究 下载：57 浏览：358

汪杰君1 王剑峰1 张志钢2 《中国仪器》 2019年8期

摘要:
为了有效地降低GB(Gain Balance)解耦矩阵对光刻机工件台运动精度的影响，提出了一种基于传递函数法的工件台微动台GB解耦矩阵校准测试方案。首先对工件台的机械结构进行分析，然后利用微动台的运动力学合成分解关系，进行六自由度解耦求解，最后对校准后的工件台的定位精度和运动精度进行测试。测试结果表明，微动台各轴之间的串扰都有所降低，工件台的运动性能得到了提升。

利用飞秒激光刻写的光纤端面光栅的研究 下载：25 浏览：439

谢康 《光电子进展》 2018年6期

摘要:
基于光束耦合分析了光波导端面光栅衍射原理。飞秒激光刻写一维正弦光栅并测量衍射光的强度,测量结果与仿真实验基本一致。利用Matlab编程仿真研究了分布不同、排列有序的折射率正弦变化二维光栅的波束整形等效果。为刻写不同折射率变化图案控制衍射光的衍射强度与衍射方向提供了理论依据。

采用300 nm周期孔阵图形提高P3HT:PCBM有机太阳能电池效率研究 下载：77 浏览：357

韩晓媚1 李占国2 王勇1 卢小香1 《光电子进展》 2018年2期

摘要:
微结构表面设计是提高太阳能电池光电转换效率的主要方法之一。微结构可以增加入射光的吸收率,减小反射率,达到提高太阳能电池光电转换效率的目的。本文采用全息光刻和湿法刻蚀技术在ITO玻璃片上制备周期为300nm的孔阵图形,以P3HT和PCBM作为电池活性层的给体材料和受体材料。实验结果表明微结构可以提高ITO/PEDOT:PSS/P3HT:PCBM/Al有机太阳能电池光电转换效率。当孔阵图形刻蚀深度达到60nm时,光电转换效率提高了约8%。实验证实,孔阵图形的采用增加了入射光的吸收,提高了太阳能电池光电转换效率。

分步式压印光刻研究 下载：80 浏览：493

​邱志惠 丁玉成 刘红忠 卢秉恒 《纳米技术研究》 2021年6期

摘要:
针对微纳制造中光刻环节的光衍射限制,讨论了可能成为下一代光刻技术路线的压印光刻.通过对比热压印、微接触转印及常温压印的技术特点,设计了一套低成本、结构简单的紫外光固化常温压印光刻机构.其大行程纳米级定位、纳米级下压系统消除了压印过程中的机构热变形误差、驱动间隙、蠕动误差等,具有分步式纳米级驱动多场压印及纳米级下压加载能力,可实现多次重复高保真图形复制。

微加速度传感器的新进展 下载：87 浏览：518

​袁哲俊 胡忠辉 谢大纲 《纳米技术研究》 2018年6期

摘要:
本文介绍了微加速度传感器的最新发展,单向微硅加速度传感器,三维集成微加速度传感器系统,微型集成惯性测量平台系统等.还介绍了最新的微加速度传感器和集成微加速度传感器的制造工艺技术。
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