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基于光雕技术的还原氧化石墨烯压力传感器制备
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宋鹏鸿
张校亮
谭慷
李晓春
《传感器研究》
2018年11期
摘要:
石墨烯目前已被广泛用于压力传感器的制备,但由于传统石墨烯制备方法的制约,大部分已报道的压力传感器都只在较低范围内具有高灵敏度,无法用于宽范围的压力检测。文中将氧化石墨烯涂覆在贴有柔性薄膜的光雕光盘表面,通过光雕技术将氧化石墨烯进行了图案化还原,并将其用于制备测量宽压力范围的压力传感器。结果表明,此压力传感器对0~500 k Pa的压力范围有很好的线性响应,并且具有良好的稳定性。
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