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微纳结构柔性压力传感器的制备及应用 下载：63 浏览：411

熊耀旭1，2 胡友根1 朱朋莉1 孙蓉1 汪正平3 《应用化学学报》 2019年10期

摘要:
柔性压力传感器是一种能够感知或监测外界压力变化的柔性电子器件，具备灵敏度高、形变灵活、制备工艺简单等特点，在可穿戴式电子产品、健康医疗、软体机器人、人机交互等新兴领域具有广泛而重要的应用。灵敏度、检测极限、响应时间与循环工作稳定性是柔性压力传感的核心性能指标，微纳结构的引入对提高柔性压力传感器综合性能具有重要作用。本文根据微纳结构的主要类型介绍了基于微纳结构的柔性压力传感器的最新研究进展，包括各种不同形貌微纳结构对柔性压力传感器性能的影响及其在柔性压力传感器中的应用，并对柔性压力传感器未来的发展提出展望。

封装残余应力对MEMS加速度计输出特性影响 下载：15 浏览：428

焦静静1 石云波1 赵永祺1 张婕1 米振国1 康强2 《传感器研究》 2020年5期

摘要:
针对微机械系统(MEMS)加速度计封装过程中引入的残余应力进行测量和分析。采用简支梁模型对有无残余应力下的传感器敏感结构进行挠度计算。最终使用拉曼光谱仪和霍普金森杆进行试验,验证了残余应力会降低加速度计的输出灵敏度,有效的封装能抵消部分芯片制作过程中的残余应力,提高传感器的灵敏度的结论。

一种改进型梁-岛-膜压力传感器的研究与设计 下载：18 浏览：311

郝建红 范宗皓 李艺 《传感器研究》 2019年9期

摘要:
研究了一种量程为800 kPa的改进型梁-岛-膜结构MEMS压阻式压力传感器,通过与常见的C型和E型结构进行仿真对比,证明这种改进型结构的传感器灵敏度得到了很大提高。采用IntelliSuite仿真分析最大等效应力、挠度和输出电压,得出在中心膜尺寸为2.6 mm×2.6 mm×60μm,梁尺寸为400μm×200μm×60μm,岛尺寸为1.3 mm×1.3 mm×370μm的情况下,该结构具有较高的线性度和灵敏度,同时进行了制版与加工流程定义。为了实现结构的优化,设计了压敏电阻的尺寸和阻值,通过对改进型结构的仿真,确定了获得最大电压输出时压敏电阻的尺寸;并分析比较了同一硅杯尺寸下3种结构不同压力下的最大等效应力、挠度和输出电压分布图,得出改进型结构灵敏度最佳。

压阻式小量程SOI压力敏感结构仿真分析 下载：12 浏览：420

揣荣岩 吕品 杨宇新 张冰 《传感器研究》 2019年4期

摘要:
针对小量程MEMS压力传感器存在提高灵敏度与降低非线性相互制约的问题,利用板壳理论对小量程压力敏感结构进行了仿真分析,给出了兼顾这两个相互制约技术指标的设计方法。基于SOI技术设计了小量程压力敏感结构,通过感压膜片断裂前与衬底适当接触可使其过载能力得到有效提高。仿真结果表明,所设计的量程为5 kPa的压力敏感芯片,其过载压力达到1 MPa,1 mA恒流源供电条件下,满量程输出为43.2 mV。
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