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钝化层刻蚀对厚铝铝须缺陷影响的研究 下载：97 浏览：494

吴智勇 《电路系统研究》 2018年3期

摘要:
国产中微机台在钝化层刻蚀工艺应用中发现容易导致后续的铝薄膜溅射工艺出现铝须缺陷(Whisker),进而造成产品出现开路/短路良率异常。影响AL whisker的因素很多,主要有两方面:一是由于AL film和上下地间TiN film之间热应力的不匹配容易导致AL whisker,其主要由铝溅射自身工艺能力决定;二是前层表面状况的影响。讨论中微机台刻蚀后的表面残留导致Al溅射后出现铝须缺陷的现象,并对其成因进行系统性分析,同时对其解决方案进行详细的介绍。

高中物理文化自信教育渗透策略分析 下载：59 浏览：1560

吴智勇 《现代教育教学研究》 2023年7期

摘要:
《关于深化新时代学校思想政治理论课改革创新的若干意见》中，明确指出：“深度挖掘高校各学科门类专业课程和中小学语文、历史、地理、体育、艺术等所有课程蕴含的思想政治教育资源”。所以，为了培养学生追求真理、勇攀科学高峰的责任感和使命感，激发学生科技报国的家国情怀和使命担当，非常有必要在高中物理教学中渗透文化自信的教育。
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