高信息传输速率和大带宽容量的太赫兹通信被认为是实现6G的关键技术，这需要高效、稳定和紧凑的太赫兹源和探测器。为提升探测性能，研究了一种共振隧穿二极管(RTD)与缝隙天线片上集成的准光式太赫兹探测器。针对电路的高频损耗和寄生效应问题，采用协同考虑阻抗匹配因子和天线辐射效率的设计准则，设计了0.67THz的小偏压RTD偏馈式探测器。采用高频结构仿真器(HFSS)和先进设计系统(ADS)软件联合仿真表征其探测性能，当输入功率为-30dBm时，该探测器在0.67THz的电流灵敏度达2.349A/W，相比微波段采用阻抗匹配因子最大的设计准则，灵敏度提升了28.01%。