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电子厂房结构微振动控制的设计研究 下载：185 浏览：2172

刘叶 《动力技术研究》 2023年9期

摘要:
近几十年来，精密电子制造技术得到了迅猛发展，电子产品对生产环境的要求也越来越高。显著表现之一就是对电子产品的加工精密程度越来越高，区别于一般的加工厂房，电子类精密加工厂房的环境要求有众多不同之处，其中对于微振动的控制是其突出的一方面。本文通过对电子厂房结构在实测振源下的动力响应分析研究，得出结构对于微振动控制的关键控制因素，为电子精密加工厂房的结构防微振设计提供参考。
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