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基于MEMS电阻式压力传感器的设计 下载：402 浏览：412

杜志1 贺建波2 《传感器研究》 2019年12期

摘要:
设计了一种应用于岩土工程中电阻式压力传感器。借助于微机械工艺(MEMS)在高弹性体聚二甲基硅氧烷(PDMS)内部嵌入微流孔,并填充新型液态金属(eGaIn)作为传感器的核心区域。结果表明:相对于传统压力传感器,采用软光刻技术微流孔尺寸可以达到μm级,精度更高;采用无毒,导电性好的新型材料液态金属,其适用性更广。

基于MEMS电阻式压力传感器的设计 下载：402 浏览：412

杜志1 贺建波2 《传感器研究》 2019年12期

摘要:
设计了一种应用于岩土工程中电阻式压力传感器。借助于微机械工艺(MEMS)在高弹性体聚二甲基硅氧烷(PDMS)内部嵌入微流孔,并填充新型液态金属(eGaIn)作为传感器的核心区域。结果表明:相对于传统压力传感器,采用软光刻技术微流孔尺寸可以达到μm级,精度更高;采用无毒,导电性好的新型材料液态金属,其适用性更广。
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