文章-世纪中文出版社

查看投稿进度

学术期刊

最新录用

赵亚辉--文章已录用《信息通信与技术》2025-06-18

刘凤霞--文章已录用《国际护理学》2025-06-18

张华锋--文章已录用《课程教育研究》2025-06-18

廖东兰--文章已录用《护理研究杂志》2025-06-19

李再树--文章已录用《中医研究杂志》2025-06-19

崔文霞--文章已录用《中国石油工业》2025-06-19

石光杰 --文章已录用《中国科学研究》2025-06-19

向世强--文章已录用《医学研究杂志》2025-06-19

杨子仪--文章已录用《现代物理学报》2025-06-19

卢玉凤--文章已录用《现代物理学报》2025-06-19

熊丹丹--文章已录用《现代康复医学》2025-06-19

姬浩--文章已录用《石油科学研究》2025-06-19

李春阳--文章已录用《课程教育研究》2025-06-19

张琳琳--文章已录用《教学管理研究》2025-06-19

陈莹--文章已录用《建筑与工程管理》2025-06-19

肖强--文章已录用《建筑技术学报》2025-06-19

刘胜云 --文章已录用《护理研究杂志》2025-06-19

罗仍吉--文章已录用《护理研究杂志》2025-06-19

李琼--文章已录用《国际护理学》2025-06-19

孙鹏--文章已录用《地球科学探索》2025-06-19

首页 > 期刊 > 文章

热压印刻蚀技术下载：84 浏览：511

章国明邵会波《纳米技术研究》 2021年2期

摘要:

纳米压印技术是一种高分辨率、廉价、高效的纳米结构制备技术.它既继承了传统光刻技术所具有的并行性,又同时拥有传统光刻技术不易达到的纳米结构制备能力,这为今后纳米结构的广泛应用提供了良好的条件.文章介绍了纳米热压印技术中核心工艺流程,包括:模板的制备、抗粘层的制备、压印过程中温度与压力的影响、反应离子刻蚀,并且给出了利用纳米热压印技术制备的光栅结构,最后展望了纳米压印技术的前景。

[1/1]

版权所有 © 2025 世纪中文出版社京ICP备2024086036号-2