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非分散红外法测定增压输送管路表面残留油脂含量 下载：96 浏览：481

武英英 许恒庭 陈莉 吴宏 刘维丽 《中国航空航天科学》 2020年9期

摘要:
建立了以非分散红外法测定水中油类物质方法为依据,结合增压输送管路实际特征,测定增压输送管路表面残留油脂含量的方法,并研究了其可行性。用脱脂棉球蘸取萃取剂六氯四氟丁烷擦拭增压输送管路表面,挤出样液至容量瓶中,后定容至50ml,以浓度为200mg/L的B重油标液做量程校准溶液,六氯四氟丁烷萃取剂做零点校准溶液,测试样品,根据测试结果评价产品表面清洁度,并在测试后用氧化铝、活性炭回收萃取剂,减少对环境负担。测得该方法检出限为0.04mg/L,测得空白加标回收率为85.6%～95.8%,试验结果验证了本方法的可行性。

钝化层刻蚀对厚铝铝须缺陷影响的研究 下载：97 浏览：494

吴智勇 《电路系统研究》 2018年3期

摘要:
国产中微机台在钝化层刻蚀工艺应用中发现容易导致后续的铝薄膜溅射工艺出现铝须缺陷(Whisker),进而造成产品出现开路/短路良率异常。影响AL whisker的因素很多,主要有两方面:一是由于AL film和上下地间TiN film之间热应力的不匹配容易导致AL whisker,其主要由铝溅射自身工艺能力决定;二是前层表面状况的影响。讨论中微机台刻蚀后的表面残留导致Al溅射后出现铝须缺陷的现象,并对其成因进行系统性分析,同时对其解决方案进行详细的介绍。
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