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电子厂房结构微振动控制的设计研究
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刘叶
《动力技术研究》
2023年9期
摘要:
近几十年来,精密电子制造技术得到了迅猛发展,电子产品对生产环境的要求也越来越高。显著表现之一就是对电子产品的加工精密程度越来越高,区别于一般的加工厂房,电子类精密加工厂房的环境要求有众多不同之处,其中对于微振动的控制是其突出的一方面。本文通过对电子厂房结构在实测振源下的动力响应分析研究,得出结构对于微振动控制的关键控制因素,为电子精密加工厂房的结构防微振设计提供参考。
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