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"自上而下"制作硅化镍纳米线 下载:94 浏览:534
摘要:
提出了"自上而下"制作硅化镍纳米线的方法,研究了制备出的纳米结构的形成过程及微观形貌.这种金属硅化物纳米线的制作方法对于集成电路制造很有应用价值。
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