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相位调制激光多普勒频移测量方法的改进 下载：59 浏览：478

杜军1 杨娜2 李峻灵1 曲彦臣3 李世明1 丁云鸿1 李锐1 《现代物理学报》 2019年8期

摘要:
本文对现有相位调制激光多普勒频移测量方法进行了改进，通过定义新的鉴频参量来同时利用相位调制信号直流和交流分量中的有用信息进行多普勒频移测量.由于相位调制信号直流分量中包含着调制信号光的Fabry-Perot干涉仪光强透过率，所以这一改进本质上是将基于Fabry-Perot干涉仪的边缘技术激光多普勒频移测量方法的优势引入到相位调制测量方法中，以提高其自身的性能.理论上证明改进后的相位调制激光多普勒频移测量方法无需对信号光的光强进行测量，所以可以进一步简化探测系统的结构和较少噪声混入的通道.另外，通过对改进前后鉴频和测量灵敏度曲线进行对比，还证明了其具有更高的测量灵敏度和动态范围.实验上对硬目标反射的频移可控信号光进行测量，不但证明了理论的正确性，而且证明了改进后的相位调制激光多普勒频移测量方法，测量动态范围提高约1倍，测量标准偏差降低约35%.

集成电路制造的超洁净工程分析 下载：97 浏览：497

秦建东 李玲 《电路系统研究》 2018年2期

摘要:
洁净室工程始于业主新建厂房计划,在业主确定建厂计划后,会联系具有设计资质的设计商为工厂做整体设计方案,由于洁净室工程在厂房建设中处于重要地位,故在工程设计的过程中设计方会和业主反复沟通,确定洁净厂房的建造方案和技术标准。
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