万尤宝1 张建新2 袁国祥2 杨培志3 杨辉4 万尤宝1 张建新2 袁国祥2 杨培志3 杨辉4

1.浙江大学材料与化工学院 浙江杭州 300200；2.嘉兴学院先进材料研究所 浙江嘉兴 3140017；3.云南昆明物理研究所 云南昆明 6502237；4.浙江大学材料与化工学院 浙江杭州 300200 1.浙江大学材料与化工学院，浙江杭州，300200；2.嘉兴学院先进材料研究所，浙江嘉兴，3140017；3.云南昆明物理研究所，云南昆明，6502237；4.浙江大学材料与化工学院，浙江杭州，300200

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关键词: 铁电薄膜； 晶粒； 种膜； 液相外延； 铁电薄膜；晶粒；种膜；液相外延