一种用于质量和电荷传感的纳米谐振器分析和模拟

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一种用于质量和电荷传感的纳米谐振器分析和模拟

刘冰刘泽文王程伟方杰余文革刘理天

清华大学微电子研究所北京 1000842

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摘要: 文章介绍了一种纳米双悬梁支撑微板谐振器.根据动力学微分方程模型,对器件的谐振特性进行模拟,结果表明,以Si3N4为功能材料,最小线宽175纳米的器件,其谐振频率18.1MHz.在常温真空环境下,采用静电驱动的双悬梁支撑结构,有效地抑制了扭转模式谐振的干扰.用该结构作质量传感器,精度达到6.25×10-19g/Hz,作电荷计,精度可以达到0.3e/Hz(e为电子电荷)。

关键词: NEMS；微板谐振器；电荷计；微质量计；静电驱动；

DOI:

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纳米技术研究

ISSN：3078-9435

所属期次： 2021.1

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