一种双边传感型电磁感应式直线位移传感器
谷星莹 汤其富 彭东林 翁道纛
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谷星莹 汤其富 彭东林 翁道纛,. 一种双边传感型电磁感应式直线位移传感器[J]. 传感器研究,2020.9. DOI:.
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由于现有直线位移传感器的动尺一般只在定尺一侧安装,所以传感器的测量性能不免受动尺与定尺间的间隙变化、平行度差等装配问题的影响。为了使传感器达到较高的测量性能,传感器的安装和运行轨迹往往需要满足苛刻的要求。针对该问题,文中开展了一种双边传感型电磁感应式直线位移传感器的研究。该传感器采用2个动尺实现了双边同时传感,以求减弱装配问题对传感器测量性能的影响。介绍了传感器的仿真实验和样机实验。仿真实验结果显示,双边传感型传感器输出的信号质量明显优于单边传感型传感器。样机的实验结果显示,传感器在双边结构下的测量误差比单边结构下小40%。文中提出的双边传感结构不仅弥补了单边传感结构的不足,而且为直线位移传感器的研究提供了一种新思路。
关键词: 电磁感应直线位移传感器双边传感
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