表面液晶-垂直腔面发射激光器阵列的热特性
王志鹏 张峰 杨嘉炜 李鹏涛 关宝璐
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王志鹏 张峰 杨嘉炜 李鹏涛 关宝璐,. 表面液晶-垂直腔面发射激光器阵列的热特性[J]. 现代物理学报,2020.11. DOI:.
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液晶与垂直腔面发射半导体激光器(VCSELs)阵列结合可实现波长可调谐、偏振精确控制等,同时液晶的引入也会改变垂直腔面发射半导体激光器阵列的热特性,本文设计了表面液晶-垂直腔面发射激光器阵列结构,并开展了阵列的热特性实验研究.对比分析了向列相液晶层对VCSEL阵列热特性的影响,实验结果表明, 1×1, 2×2, 3×3三种表面液晶-VCSEL阵列的阈值电流温度变化率最高可降低23.6%,热阻降低26.75%;同时,激光器阵列各发光单元之间的温度均匀性显著提高,出光孔与周围温差小于0.5℃.综上所述,VCSEL阵列中液晶层的引入不仅大大加速激光器阵列单元热量扩散,而且降低了有源区结温,提高了VCSELs激光器阵列热特性,为实现高光束质量的单偏振波长可控VCSEL激光器阵列打下了良好的理论和实验基础.
关键词: 垂直腔面发射激光器阵列液晶热特性
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