智能型纳米级超精密抛光机的研究
1.浙江工业大学职教学院，浙江杭州，3100142；2.浙江工业大学机电学院，浙江杭州，310014；3.杭州智邦纳米技术有限公司，浙江杭州，310014
摘要: 研制了一种采用修正环在线修整抛光盘技术及专家数据库系统控制的智能型纳米级超精密抛光机,用于超精密平面抛光.文中介绍了其设计原理、运动模式、专家控制系统的设计与实现,加工结果表明,该型抛光机可将加工余量去除误差控制在1 nm以下,并获得表面粗糙度小于0.2 nm的平面。
关键词:
抛光；修正环；专家数据库；纳米；智能；
抛光；修正环；专家数据库；纳米；智能
