"自上而下"制作硅化镍纳米线

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"自上而下"制作硅化镍纳米线

罗强岳双林顾长志

中国科学院物理研究所微加工实验室，北京，100080

摘要: 提出了"自上而下"制作硅化镍纳米线的方法,研究了制备出的纳米结构的形成过程及微观形貌.这种金属硅化物纳米线的制作方法对于集成电路制造很有应用价值。

关键词: 硅化镍；纳米线；制备技术；自上而下

DOI:

基金资助:

文章地址:https://www.ccnpub.com/wenzhangd-2-69593