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基于DMD的高速高精度空间光调制器

袁志军 王开志

上海交通大学电子信息与电气工程学院

摘要: 现有主流商品化的空间光调制器(Spatial Light Modulator,SLM)基于硅基液晶[1](Liquid Crystal on Silicon,LCoS)技术,存在着调制精度低、速度慢、幅度和相位无法独立调制等问题。本文提出的基于数字微镜阵列器件[2](Digital Mirror Device,DMD)和共轴光学系统实现的空间光调制器克服了上述存在的问题,并且提高了其光强耐受度。
关键词: 空间光调制器;高速高精度空间光调制;数字微镜阵列
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