力争促使纳米硅器件进入产业化-文章-世纪中文出版社

力争促使纳米硅器件进入产业化

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作者: 何宇亮1；王树娟2；

作者单位: 1.南京大学物理系，江苏南京，210093；2江苏省纳米材料与器件技术中心，江苏南京，2100932；

关键词: 纳米晶体；硅薄膜；产业化；

摘要:

研究发现纳米晶硅(nc-Si:H)薄膜是一种具有实用前景的功能半导体材料.在研制成的纳米硅异质结二极管、薄膜太阳能电池以及灵敏传感中已显示出它的优异性能,具有进入产业化的前景和可行性.强调在纳米技术产业化的进程中企业应担负起重要角色,国家也应给其相应的政策支持。

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