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新材料为芯片制造延续摩尔定律
DOI
:
,
PDF
下载:
82
浏览: 477
作者
:
Jeff
;
Dorsch
;
作者单位
:
半导体工程
;
关键词
:
集成电路制造
;
半导体材料
;
石墨烯
;
碳纳米管
;
摘要:
硅材料的发展势头依然强劲,但要将硅扩展到一些新市场和新工艺节点变得越来越困难。对于一些节点来说,CMOS已经走到尽头了,这在每个新节点上都变得更加明显。未来的发展将取决于新的材料。这为许多包括石墨烯、2D材料和碳纳米管在内的新选择打开了大门。其中一些材料本身就可以得到直接应用,而另一些将与硅材料结合,以延长摩尔定律,提高性能、功率和面积,最终远远超过目前的水平。
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