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集成电路制造的超洁净工程分析

秦建东李玲

河南大学环境与规划学院

摘要: 洁净室工程始于业主新建厂房计划,在业主确定建厂计划后,会联系具有设计资质的设计商为工厂做整体设计方案,由于洁净室工程在厂房建设中处于重要地位,故在工程设计的过程中设计方会和业主反复沟通,确定洁净厂房的建造方案和技术标准。

关键词: 集成电路制造；晶圆厂；Fab；超洁净工厂

DOI:

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文章地址:https://www.ccnpub.com/yuyind-2-84302