摘要: 在中国国内,半导体设备业和半导体材料业通称为半导体支撑业。近年来,在国内集成电路产业持续快速发展的带动下,国内半导体材料业也呈现出高增长的势头。在国家科技重大专项02专项和各级地方政府科技创新专项的大力支持下,多种基础材料开始替代进口材料,在国内集成电路大生产线上使用。