摘要: 设计了一种应用于岩土工程中电阻式压力传感器。借助于微机械工艺(MEMS)在高弹性体聚二甲基硅氧烷(PDMS)内部嵌入微流孔,并填充新型液态金属(eGaIn)作为传感器的核心区域。结果表明:相对于传统压力传感器,采用软光刻技术微流孔尺寸可以达到μm级,精度更高;采用无毒,导电性好的新型材料液态金属,其适用性更广。