摘要: 软X射线激光阴影成像技术是一种诊断高温稠密等离子体临界面附近阴影轮廓的诊断技术，具有测量视场大、空间分辨能力高的特点，具有重要的应用前景.对该技术的空间分辨具体能够达到什么程度则没有进行过系统研究.本文分别从光路几何、衍射极限、成像像差三个方面进行了仔细分析，结果表明目前采用该技术的诊断系统能够达到约2μm的空间分辨.主要受限是光路几何因素，通过增加放大倍数、选择单元尺寸更小的接收元器件等方式，有希望达到优于1μm的空间分辨.