赵元富1,2,3 王亮1 舒磊2 刘家齐1 刘琳1 岳素格1 李同德1 李园3 顾问3
1.北京微电子技术研究所;2.哈尔滨工业大学航天学院;3.北京工业大学微电子学院
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