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何远婵--文章已录用《中医研究杂志》2025-06-25

曲春艳--文章已录用《信息通信与技术》2025-06-24

王志佳--文章已录用《教学管理研究》2025-06-24

李鑫--文章已录用《建筑与工程管理》2025-06-24

平梅花--文章已录用《中医研究杂志》2025-06-24

耿剑--文章已录用《中国石油工业》2025-06-24

冯良波--文章已录用《中国科学研究》2025-06-24

赵世旭--文章已录用《医学研究杂志》2025-06-24

吴雪峰--文章已录用《信息通信与技术》2025-06-24

席国辉--文章已录用《现代物理学报》2025-06-24

许红梅--文章已录用《现代康复医学》2025-06-24

秦海平--文章已录用《石油科学研究》2025-06-24

卢云辉--文章已录用《课程教育研究》2025-06-24

汤梅萍--文章已录用《教学管理研究》2025-06-24

刘多金--文章已录用《建筑与工程管理》2025-06-24

李昆鹏--文章已录用《建筑与工程管理》2025-06-24

陈昕--文章已录用《护理研究杂志》2025-06-24

李潇然--文章已录用《国际护理学》2025-06-24

姜昊言岳毅豪--文章已录用《地球科学探索》2025-06-24

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一种用于质量和电荷传感的纳米谐振器分析和模拟下载：84 浏览：536

刘冰刘泽文王程伟方杰余文革刘理天《纳米技术研究》 2021年1期

摘要:

文章介绍了一种纳米双悬梁支撑微板谐振器.根据动力学微分方程模型,对器件的谐振特性进行模拟,结果表明,以Si3N4为功能材料,最小线宽175纳米的器件,其谐振频率18.1MHz.在常温真空环境下,采用静电驱动的双悬梁支撑结构,有效地抑制了扭转模式谐振的干扰.用该结构作质量传感器,精度达到6.25×10-19g/Hz,作电荷计,精度可以达到0.3e/Hz(e为电子电荷)。

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