新材料为芯片制造延续摩尔定律
Jeff Dorsch
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参考文献( GB/T 7714-2015 ) 复制

Jeff Dorsch,. 新材料为芯片制造延续摩尔定律[J]. 电路系统研究,2018.6. DOI:.
摘要:
硅材料的发展势头依然强劲,但要将硅扩展到一些新市场和新工艺节点变得越来越困难。对于一些节点来说,CMOS已经走到尽头了,这在每个新节点上都变得更加明显。未来的发展将取决于新的材料。这为许多包括石墨烯、2D材料和碳纳米管在内的新选择打开了大门。其中一些材料本身就可以得到直接应用,而另一些将与硅材料结合,以延长摩尔定律,提高性能、功率和面积,最终远远超过目前的水平。
关键词: 集成电路制造半导体材料石墨烯碳纳米管
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