高可靠性压差传感器的设计与测试
陈玉玲 史岩峰 张艳华 张巧寿
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陈玉玲 史岩峰 张艳华 张巧寿,. 高可靠性压差传感器的设计与测试[J]. 传感器研究,2018.12. DOI:.
摘要:
压差传感器用于伺服系统作动器两腔压力差的测量,文中针对高可靠性、高精度、耐高温、小型化压差传感器的应用需求,提出了高可靠性压差传感器的设计方案并进行测试,主要包括芯体设计、结构设计和电路设计。该产品采用SOI硅晶圆材料制作压力敏感芯片,可在150℃下正常工作。传感器通过性能测试以及环境试验,试验结果表明该传感器能够满足实际使用要求,在150℃下温度漂移和灵敏度漂移均小于±0.1%FS/℃。
关键词: 高可靠性压差传感器SOI环境试验
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