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温度对硅外延图形漂移的影响及监控
作者:
段路强
单位：
华越微电子有限公司
下载量：
76
浏览量：
462
全文下载：
PDF
DOI：
出刊日期：
2025-04-15
钝化层刻蚀对厚铝铝须缺陷影响的研究
作者:
吴智勇
单位：
上海华力微电子有限公司
下载量：
97
浏览量：
513
全文下载：
PDF
DOI：
出刊日期：
2025-04-14
一种低使用成本的高精度曝光和测量技术
作者:
周畅1
徐兵1，2
朱岳彬1
单位：
1.上海微电子装备(集团)股份有限公司；2.上海大学机电工程与自动化学院
下载量：
76
浏览量：
417
全文下载：
PDF
DOI：
出刊日期：
2025-04-11
TaN薄膜的等离子体增强原子层沉积及其抗Cu扩散性能
作者:
王永平
丁子君
朱宝
刘文军
丁士进
单位：
专用集成电路与系统国家重点实验室复旦大学微电子学院
下载量：
64
浏览量：
475
全文下载：
PDF
DOI：
出刊日期：
2025-04-11
兼顾可靠性和经济性的配电终端规划设计方法
作者:
何松生1,2
王于波1,2
姚庆党1,2
单位：
1.北京智芯微电子科技有限公司(国家电网公司重点实验室电力芯片设计分析实验室)；2.北京智芯微电子科技有限公司(北京市电力高可靠性集成电路设计工程技术研究中心)
下载量：
75
浏览量：
459
全文下载：
PDF
DOI：
出刊日期：
2025-04-11
一种用于质量和电荷传感的纳米谐振器分析和模拟
作者:
刘冰
刘泽文
王程伟
方杰
余文革
刘理天
单位：
清华大学微电子研究所，北京，1000842
下载量：
84
浏览量：
537
全文下载：
PDF
DOI：
出刊日期：
2025-03-19
微电子传感技术在机械自动控制的应用
作者:
王文江
单位：
郑州第六大街电子科技有限公司，河南郑州，450000
下载量：
87
浏览量：
891
全文下载：
PDF
DOI：
10.12721/ccn.2025.157312
出刊日期：
2025-03-18
浅析新时代的微电子工艺实验教学策略
作者:
郭龙
葛锦涛
滕凡毅
单位：
第五淯暄，西安工程大学，710600
下载量：
99
浏览量：
1040
全文下载：
PDF
DOI：
10.12721/ccn.2025.157307
出刊日期：
2025-03-18
基于创新思维能力培养的《微电子器件》课程教学改革探索
作者:
姚尧
石跃
陈昌明
李蠡
单位：
成都信息工程大学通信工程学院，成都，610225
下载量：
95
浏览量：
1043
全文下载：
PDF
DOI：
10.12721/ccn.2024.157303
出刊日期：
2025-03-18
微电子技术在航空电子系统中的应用
作者:
何夏栋
郑相如
李龙龙
单位：
西安航空电子科技有限公司，陕西西安，710075
下载量：
121
浏览量：
1541
全文下载：
PDF
DOI：
10.12721/ccn.2022.157156
出刊日期：
2025-03-11
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