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等离子体发生器制备纳米微粒
DOI
:
,
PDF
下载:
85
浏览: 523
作者
:
何蓉
;
作者单位
:
北京山川联合纳米科技有限公司,北京密云,101500
;
关键词
:
化学气相法
;
等离子体发生器
;
温度
;
形态
;
摘要:
介绍了等离子体发生器化学气相反应法(CVD)的工作原理和直流电弧主电路,并对此法制备金属纳米和金属纳米氧化物过程中温度、颗粒形态的控制进行了分析。
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