制备了一种中心波长为852nm的内腔液晶可调谐垂直腔面发射激光器结构。研究了不加调谐电压时可调谐VCSEL的电流-电压-光功率关系,注入电流为10mA时,得到了器件的最大输出功率为2.3mW。结果表明,内腔液晶可调谐垂直腔面发射激光器的波长调谐范围达到27nm,调谐效率为9nm/V。