使用拉曼光谱和透射电镜等分析手段研究了高能快重离子辐照对ZnO单晶内部结构特性的影响。结果表明,经过快重离子辐照后,在ZnO单晶的拉曼光谱中出现了两个新的振动吸收峰。采用不同轴向的拉曼入射光表征方法,证实了位于576 cm-1的振动吸收峰与氧空缺位(V0)密切相关。经离子辐照后透射电镜图像显示出现了许多间隙原子、空位和位错等缺陷,而电子衍射图表明试样没有出现明显的非晶化。这个结果表明,较高的能量和辐照剂量对氧化锌的整体结构和性能几乎没有影响,也充分证明ZnO单晶具有良好的抗辐照性能。