检索
AI智能检索
学术期刊
首页
文章
期刊
投稿
首发
学术会议
图书中心
新闻
新闻动态
科学前沿
合作
我们
一封信
按学科分类
按期刊分类
医药卫生
(21)
工程技术
(38)
数学与物理
(12)
经济与管理
(12)
人文社科
(41)
化学与材料
(9)
信息通讯
(10)
地球与环境
(25)
生命科学
(2)
首页
>
文章
基于MEMS电阻式压力传感器的设计
DOI
:
,
PDF
下载:
402
浏览: 419
作者
:
杜志1
;
贺建波2
;
作者单位
:
1.阿坝师范学院;2.重庆市地质环境监测站
;
关键词
:
高弹性体(PDMS)
;
液态金属(eGaIn)
;
压力传感器
;
摘要:
设计了一种应用于岩土工程中电阻式压力传感器。借助于微机械工艺(MEMS)在高弹性体聚二甲基硅氧烷(PDMS)内部嵌入微流孔,并填充新型液态金属(eGaIn)作为传感器的核心区域。结果表明:相对于传统压力传感器,采用软光刻技术微流孔尺寸可以达到μm级,精度更高;采用无毒,导电性好的新型材料液态金属,其适用性更广。
投稿
相关文章
大数据技术在金融风控中的应用研究
程序化护理干预模式在脑出血患者中的应用及对认知水平的影响研究
一种用于小孔径攻丝的工装设计
一种便携式自动控制气动短路接地装置研制
关于建筑电气安装工程施工质量控制研究
学术共建
清华大学出版社
北大中文系
国家工程技术数字图书馆
维普网
万方数据库
版权所有 © 2025 世纪中文出版社
京ICP备2024086036号-2